场发射扫描电子显微镜
场发射扫描电子显微镜
| 仪器名称 | 场发射扫描电子显微镜 状态【运行】 |  | |
| 英文名称 | Scanning Electron Microscopy | ||
| 规格/型号 | /Regulus 8220 | ||
| 生产厂商 | 日本日立 | ||
| 国别 | 日本 | ||
| 性能指标 | 二次电子分辨率：0.6nm（加速电压15 kV）0.7nm（着陆电压1 kV） 着陆电压：0.01～20 kV 放大倍率：20～2,000,000倍 样品台：样品台控制 5轴马达驱动 移动范围 X 0～50 mm Y 0～50 mm R 360° T －5～70° Z 1.5～30 mm | ||
| 主要应用 | 材料的高分辨形貌分析 显微组织及超微尺寸材料的研究 化学成分像分布，微区化学成分分析 具有相分析、自动颗粒物分析以及形态学分析功能 配备真空转移装置，可在不接触空气的环境中更换样品 | ||
| 样品要求 | 是否有磁性需要提前告知管理员 | ||
终审：安徽省陶铝新材料产业共性技术研究中心
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